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Wafer Handling Roboter

Robot phoenix basiert auf der wegweisenden Technologie eines intelligenten parallelen Hoch geschwindigkeit delta roboters und erfand neue 4-DEF-Parallelroboter mit einer Plattform und einer doppelten Plattform. Dies durchbrach den Engpass, um einen größeren Schwenk winkel und eine höhere Ausgangs geschwindigkeit im parallelen Mechanismus mit mehreren geschlossenen Schleifen zu realisieren. Der Roboter winkel mit zwei Plattformen kann mindestens ± 180 ° erreichen, und unter 0,1 kg Nutzlast kann der schnellste Fahr schlag in der Standard-Türrahmen-förmigen Flugbahn 0,28 s erreichen. Die maximale Beschleunigung beträgt 15g.

Verschiedene Arten von Wafer-Handhabung robotern

Lobster200Z300S-T0X5-C Wafer Roboter

  • Einarmiger Roboter; Armlänge 200mm;

  • Nutzlast 0,5 kg;

  • Neu position ierungs genauigkeit ± 0,1mm. Seine Sauberkeit erreicht Klasse 100, geeignet für atmos phä rische Anwendungen.

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Lobster185Z340D-T2X0-C Wafer Roboter

  • Zweiarmiger Roboter; Armlänge 185mm;

  • Nutzlast 2kg;

  • Neu position ierungs genauigkeit ± 0,1mm. Seine Sauberkeit erreicht Klasse 100, geeignet für atmos phä rische Anwendungen.

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Lobster200Z300S-T0X5-V Wafer Roboter

  • Einarmiger Roboter; Armlänge 200mm;

  • Nutzlast 0,5 kg;

  • Neu position ierungs genauigkeit ± 0,1mm. Seine Sauberkeit erreicht ISO Class1, geeignet in einer Vakuum umgebung.

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Wafer handling roboter für spezifische Umwelt anforderungen

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Lobster200Z300S-TOX5-C einarmiger Wafer-Handling-Roboter und Lobster185Z340D-T2XO-C zweiarmiger Wafer-Transfer roboter sind für atmos phä rische Anwendungen geeignet.

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Lobster200Z300S-TOX5-V einarmiger Wafer-Handling-Roboter passt in eine Vakuum umgebung.

Merkmale des Wafer-Handhabung roboters

Merkmale des Wafer-Handhabung roboters
Merkmale des Wafer-Handhabung roboters

Der selbst entwickelte Wafer-Handling-Roboter vonRobot phoenixErreicht eine Neu position ierungs genauigkeit von 3 μm, die im Vergleich zu anderen ähnlichen Produkten von ungefähr 20 μm eine höhere Genauigkeit erreicht. Die Wafer-Handling-Roboter der Hummer-Serie sind eine Art vonIndustrie roboter zum VerkaufDies umfasst einarmige, doppel armige und gesaubte Modelle und kann in verschiedenen Szenarien zur Handhabung von Halbleiter wafern verwendet werden.

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