Lobster200Z300S-T0X5-V Wafer Roboter

Typ

Einarmig

Angewandte Spezifikation

~ 300

Bewertete Nutzlast

0,5 kg

Grad der Freiheit

3

Bewegungs bereich

Hebe achse (Z)

300mm

Rotierende Achse (T)

340deg

Stretching-Achse (R)

400mm

Höchst geschwindigkeit

Hebe achse (Z)

300 mm/s

Rotierende Achse (T)

400deg/sec

Stretching-Achse (R)

700 mm/s

Merkmale

1) Vakuum umgebung.

2) Roboterarm-Länge: 200mm.

3) Direkter Antrieb, kompakte Struktur

4) Mapping-Sensor, um fest zustellen, ob Wafer vorhanden sind, ob sie darüber liegen oder kippen.

5) Spezifikationen können entsprechend Anforderungen angepasst werden.

Neu position ierung Genauigkeit

± 0,1mm

Leckrate

1*10E-6 Pa

Sauberkeit

ISO Class1

Schnitts telle

I/O-Schnitts telle

4 kon figur ierbare digitale Eingänge;

4 kon figur ierbare digitale Ausgänge;

8 allgemeine digitale Eingänge;

8 allgemeine digitale Ausgänge;

(8 digitale Ein-/Ausgänge neu erweiterbar).

Ethernet

1

USB

2

RS232/RS485

1

Kommunikation protokoll

Modbus-RTU/TCP, Sockel

Armlänge (R)

200mm

Vertikaler Schlaganfall (Z)

150mm

Maschinen tisch höhe (H)

868mm

Länge des Aktuators (L)

Nachfrage basiert

Höhe vom Tisch bis zur Abwärts position des Schlaganfalls (H)

120mm