Lobster185Z340D-T2X0-C Wafer Roboter

Typ

Zweiarmig

Angewandte Spezifikation

~ 300

Bewertete Nutzlast

2KG

Grad der Freiheit

4

Bewegungs bereich

Hebe achse (Z)

340mm

Rotierende Achse (T)

340deg

Stretching-Achse (R)

360mm

Höchst geschwindigkeit

Hebe achse (Z)

400 mm/s

Rotierende Achse (T)

260deg/sec

Stretching-Achse (R)

1500 mm/s

Merkmale

1) Reinraum umgebung.

2) Roboterarm-Länge: 135mm; 185mm.

3) Zweiarmige Struktur verkürzt die Betriebszeit des Wafer-Austauschs.

4) Mapping-Sensor, um fest zustellen, ob Wafer vorhanden sind, ob sie darüber liegen oder kippen.

5) Spezifikationen können entsprechend Anforderungen angepasst werden.

Neu position ierung Genauigkeit

± 0,1mm

Leckrate

-

Sauberkeit

Klasse 100

Schnitts telle

I/O-Schnitts telle

4 kon figur ierbare digitale Eingänge;

4 kon figur ierbare digitale Ausgänge;

8 allgemeine digitale Eingänge;

8 allgemeine digitale Ausgänge;

(8 digitale Ein-/Ausgänge neu erweiterbar).

Ethernet

1

USB

2

RS232/RS485

1

Kommunikation protokoll

Modbus-RTU/TCP, Sockel

Armlänge (R)

185mm

Vertikaler Schlaganfall (Z)

340mm

Maschinen tisch höhe (H)

605mm

Länge des Aktuators (L)

Nachfrage basiert

Höhe vom Tisch bis zur Abwärts position des Schlaganfalls (H)

250mm